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一般廢氣:來自機(jī)器運(yùn)行產(chǎn)生的熱量,不含有害物質(zhì)或高溫氣體,但考慮到潔凈室空調(diào)和過濾設(shè)備的負(fù)荷,廢氣由一般風(fēng)車抽至大氣,未經(jīng)處理排入大氣。注:GEX采用鍍鋅螺旋管,六角采用SUS304酸排(性)、堿排(AEX)系統(tǒng)流程:
酸堿廢氣:主要來自化學(xué)清洗站和芯片清洗過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。部分氣體含有濃煙,部分氣體對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激作用,對(duì)人體有害。因此,必須在洗滌器中洗滌中和,然后通過風(fēng)扇排放到大氣中。
有機(jī)溶劑排放:主要來源于各工序用有機(jī)溶劑粘合、顯影、清洗的過程。需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后由風(fēng)機(jī)排入大氣。
堿性汽提廢氣:汽提工藝的主要來源是通過冷凝吸收器汽提液、氣,將廢氣在液相冷卻后旋出,經(jīng)冷凝器吸收處理后含廢氣濃度會(huì)降低,然后送到中央洗滌器做洗滌和處理,再由風(fēng)機(jī)排風(fēng)。
緊急排氣:當(dāng)潔凈室機(jī)尾風(fēng)道內(nèi)探頭引氣濃度過高時(shí),應(yīng)進(jìn)行緊急操作,保證正常生產(chǎn),維護(hù)室內(nèi)環(huán)境。
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